薬品供給設備
半導体,フラットパネルディスプレイ,太陽電池など、先端の電子デバイス製品製造には、エッチングや洗浄といった加工の為に化学薬品が多用されています。これらの用途に使用される、硫酸,塩酸,アンモニア,過酸化水素等の化学薬品は、金属イオンの汚染や微小なゴミ(パーティクル)の混入が、製造プロセス上大きな問題になります。
このような最先端製品の製造に必要とされる化学薬品を、高純度のまま、容易に、そして安全に使用できるようにする設備です。
Concept
製品ライン
S-Wagon
LS-100
定置式